新型光刻膠制備方法開發(fā)成功 光刻膠相關(guān)公司梳理
2025-09-27 12:35
來源: 云財經(jīng)
影響力評估指數(shù)：16.04
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云財經(jīng)訊，據(jù)中國化工報，華東理工大學(xué)副教授莊黎偉、美國約翰霍普金斯大學(xué)教授邁克爾·薩帕希斯領(lǐng)銜的國際合作團(tuán)隊，提出了一種間歇性旋涂化學(xué)液相沉積制備非晶態(tài)沸石咪唑酯骨架(aZIF)薄膜的方法，實現(xiàn)了薄膜沉積速率和厚度的可控，并進(jìn)行了電子束光刻和超越極紫外光刻驗證。相關(guān)研究近日發(fā)表于《自然—化學(xué)工程》。據(jù)介紹，近年來，aZIF薄膜被用作先進(jìn)光刻膠。實現(xiàn)aZIF薄膜的大面積、高精度可控制備，對相關(guān)領(lǐng)域的先進(jìn)光刻工藝具有重要意義。在前期基于超稀釋前驅(qū)體溶液賦能化學(xué)液相沉積法制備aZIF薄膜策略的基礎(chǔ)上，研究團(tuán)隊提出了制備aZIF薄膜的新方法。根據(jù)公司經(jīng)營業(yè)務(wù)以及自身在投資者關(guān)系互動平臺的披露，A股市場布局半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)的公司有上海新陽(300236)、南大光電(300346)、聚光科技(300203)等20家，這些公司中既有屬于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游公司，也有公司的子公司或參股公司參與半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)。
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