英諾激光回應(yīng)了提問:可以產(chǎn)生深紫外光、極紫外光,理論上355nm激光光源經(jīng)一次曝光后可變?yōu)?75nm...
2021-07-30 15:41   
來源: 深交所互動易   
影響力評估指數(shù):20  
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投資者問:固態(tài)激光光源的優(yōu)點是可變波長,可以產(chǎn)生深紫外光、極紫外光。理論上355nm激光光源經(jīng)一次曝光后可變?yōu)?75nm,二次曝光后變?yōu)?6nm,經(jīng)多次曝光后理論上可以應(yīng)用于28nm以上光刻機。請問理論上這是可行嗎?公司是否有開展光刻機的研究計劃?謝謝
英諾激光(301021):激光器的光學(xué)設(shè)計較為復(fù)雜,本著對負責(zé)的態(tài)度,公司無法簡單答復(fù)您是否可行。敬請諒解!公司未來發(fā)展計劃請關(guān)注公司公告。
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